真空镀膜机是由真空炉体，真空泵，真空镀膜设备，控制柜，真空计，冷却系统等部件组成，真空驴体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。

根据工艺要求选择不同规格及类型真空镀膜机，其类型有电阻蒸发真空镀膜设备、电子束蒸发真空镀膜设备、磁控溅射真空镀膜设备、离子镀真空镀膜设备、磁控反应溅射真空镀膜设备、空心阴极离子镀和多弧离子镀等。

真空镀膜机主要是指需要在高真空度下进行的镀膜，塑料真空镀膜设备，包括真空蒸发镀膜机、真空多弧离子镀膜机、真空中频磁控溅射镀膜机、多功能中频磁控溅射多弧复合离子镀膜机、真空光学(电子束蒸发)镀膜机等。

真空镀膜机的操作注意事项

1、真空电镀机操作员要穿着整洁，袖口扣紧（佩戴袖套），上衣下摆不能敞开，不得穿拖鞋、高跟鞋；

2、检查电路各控制开关能否正常断开闭合，电压指示380±20V；

3、检查各螺钉处连接是否牢固，电控柜、主机的连接线有无松脱现象、接地是否良好；所有电器的开关在零或者“关”的位置上；

真空镀膜机详解

辅佐抽气系统

此排气系统选用“涣散泵 机械泵 罗茨泵 低温冷阱 polycold”构成

排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA支配的低真空情况，电子真空镀膜设备，为涣散泵后继抽真空提供条件，今后当涣散泵抽真空腔的时分，机械泵又协作油涣散泵构成串联，以这样的方法结束抽气动作。

排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，首要有由机械泵、增压泵(首要介绍罗茨泵)、油涣散泵三大部分构成。

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