如果真空镀膜设备持续不断的使用了6个月以上，真空镀膜设备的抽速就会有明显的变慢，硅胶真空镀膜设备，那怎样去维护呢？本文主要讲诉了对真空镀膜设备长时间运行后的要点。

首先，必须要冲入大气，拆去连接水管，将一级喷嘴拧出来，道滘真空镀膜设备，再用将泵腔以及泵胆清洗一下，再使用洗衣粉兑清水再清洗一次，待水份挥发干后，装好泵胆，重新加入新扩散的泵油并装回机体重新开机。
真镀膜设备在重新开机时要特别注意捡漏工作，先观察扩散泵部分是否达到6*10PA，否则需要进行检漏。
检查连接处是否密封，或压坏密封圈。
排除漏气隐患后才可以加热，否则扩散泵油会烧坏导致无法进入到工作状态。

冷水机能控制真空镀膜机的温度，以保证镀件的高质量。
如果不配置冷水机就不能使真空镀膜机达到、率控制温度的目的，因为自然水和水塔散热都不可避免地受到自然气温的影响，而且此方式控制是极不稳定的。

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玻璃镀膜设备的一个特点是生产的周期性，饰品真空镀膜设备，即“抽真空—真空状态生产—破空—腔室维护—抽真空”，这样周而复始进行。
在生产状态下，溅射舱室内挡板及屏蔽板上沉积的溅射物逐渐增厚，会逐渐产生欠层、崩裂、脱落现象，掉落到玻璃上会影响玻璃的镀膜，玻璃真空镀膜设备，造成缺陷，为此，就需要在掉落的溅射物造成的玻璃缺陷增多到一定程度时进行腔室维护，在连续的生产状态下，大约20天左右进行一次腔室维护。

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